ФОРМИРОВАНИЕ МНОГОСЛОЙНОЙ НАНОСИСТЕМЫ Si/NiSi2/Si, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ТВЕРДОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ. Modern education and development, [S. l.], v. 25, n. 4, p. 385–391, 2025. Disponível em: https://scientific-jl.com/mod/article/view/12634. Acesso em: 3 aug. 2025.