“ФОРМИРОВАНИЕ МНОГОСЛОЙНОЙ НАНОСИСТЕМЫ Si/NiSi2/Si, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ТВЕРДОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ” (2025) Modern education and development, 25(4), pp. 385–391. Available at: https://scientific-jl.com/mod/article/view/12634 (Accessed: 3 August 2025).