“ФОРМИРОВАНИЕ МНОГОСЛОЙНОЙ НАНОСИСТЕМЫ Si/NiSi2/Si, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ТВЕРДОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ”, scientific, vol. 25, no. 4, pp. 385–391, May 2025, Accessed: Aug. 03, 2025. [Online]. Available: https://scientific-jl.com/mod/article/view/12634